高精度三轴运动平台机电一体运动控制卡，电液束平台

规格:

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为了提高电液束加工的加工精度、加工效率以及加工的可重复性，设计了基于电液束加工的实验平台。

一，可实现X、Y单轴、两轴联动及Z轴的直线往复运动。

运动控制卡具备直线插补及圆弧插补运动功能，通过设置坐标原点可实现一键回零及自动对刀等功能，能够实现自动化控制，大大提高加工效率及加工精度。

该实验平台在XOY平面上，X轴、Y轴均由伺服电机驱动。单向z小进给速度为1um/s;z大进给速度可达到40mm/s。并且能实现急回运动即加工进给速度慢，空载回退速度快。运动速度在1um/s～40 mm/s范围内连续可调。

X轴、Y轴运动行程均为200 mm ，定位精度10μm，重复定位精度5μm。运动平台的台面尺寸为200mm*200mm。十字滑台的承重可达50Kg以上且不影响平台的运动精度。Y轴及Z轴直线滑台上200*200mm的运动平台用316L不锈钢材料，其他机械部件采用防腐蚀的铝合金材料（XY两轴直线十字滑台见附件1）

二，Z轴直线滑台实现上下往复运动。

（1）Z轴运动行程为300mm，定位精度10μm，重复定位精度5μm。Z轴由伺服电机驱动，单向z小进给速度为1um/s;z大进给速度可达到40mm/s。并且能实现急回运动即加工进给速度慢，空载回退速度快。运动速度在1um/s～40 mm/s范围内连续可调。Z轴可实现精确自动对刀且运动位置精确可控。Z轴运动平台z大承重50Kg以上且不影响平台的运动精度。（Z轴直线滑台见图2）

（2）Z轴直线滑台的安装高度将综合考虑Z轴直线滑台的行程及电解槽内工作台（见图3）的安装高度决定。Z轴安装在龙门架横梁的中线上并保证Z轴直线滑台的下端面到Y轴直线滑台运动平台上端面的距离为275mm（见图4）。

（3）Z轴直线滑台的运动平台（预留均匀分布的标准M6螺纹安装孔）上沿X轴正向预留50mm电液束喷头安装距离。电液束喷头安装固定后，位于X轴及Y轴的行程中点，确保电液束喷头在电解槽（见图5）内中心200*200mm的正方形区域内运动。

（4）为了使装置能够更好地适应特殊的加工场合，在装置的运动行程上利用风琴盖对加工装置进行防护，防止腐蚀性液体及颗粒接触直线滑台内部的滚珠丝杆及导轨。风琴盖的安装、拆卸和维修要求操作简易方便，风琴盖安装到装置后要求在运行过程中稳定并不脱落。

（5）为了进一步对直线滑台内部滚珠丝杆的防护，需要对直线滑台的端面进行密封并不影响运动行程，防止腐蚀性液体及颗粒进入直线滑台内部。

（6）为了进一步提高平台的运动精度，在X轴、Y轴及Z轴的运动方向上装有光栅尺，以便调节运动精度。通过光栅尺实时采点构成机床的实际运动轨迹与目标轨迹、编程轨迹在同一显示界面上显示，进行三者的实时比对，实现运动轨迹的高精度控制。

（7）在机床的运动轨迹控制方面，提供带有运动控制函数的运动控制卡及技术手册，方便我方进行平台的二次开发。

（8）整套装置安装固定在大理石龙门架上。

（9）龙门架横梁承重100Kg以上；大理石底座承重200Kg（不包括龙门架重量）以上且满足强度、刚度及稳定性要求。

（10）将伺服电机驱动器、运动控制卡等组件集成在19寸4U机箱里。

检验标准：

机床的机械安装精度：

X轴、Y轴移动行程均为200 mm ，定位精度10μm，重复定位精度5μm；